Kohlenstoff tetra fluorid CAS 75-73-0
Produktname: Kohlenstoff tetra fluorid Kohlenstoff tetra fluorid Gas Tetra fluor methan Per fluor kohlenstoff
Produkt qualität: analytische Qualität
Produkt reinheit: 99,999%
Verpackungs spezifikation: 40L
Chinesischer Name:,
Chinesischer Alias: http
CAS: 75-73-0
EINECS: 200-896-5
Molekulare Formel: CF4
Molekular gewicht: 88
Physikalische und chemische Eigenschaften:-Schmelzpunkt: -184 ° c
Kohlenstoff tetra fluorid ist das am weitesten verbreitete Plasma kerzen gravur gas in der Mikro elektronik industrie. Es ist eine Mischung aus hochreinem Gas und hochreinem Tetra fluorid kohlenstoff gas mit hochreinem Sauerstoff.
1. Es kann in der Kerzen gravur von Silizium, Silizium dioxid, Silizium nitrid, Phosphor-Silizium glas und Wolfram-Dünnschicht materialien weit verbreitet sein. Für Silizium-und Silizium dioxid systeme kann bei Verwendung CF4-H2 reaktiven Ionen ätzens durch Einstellen des Verhältnisses der beiden Gase eine Selektivität von 45:1 erhalten werden. Dies ist sehr nützlich beim Ätzen von Silizium dioxid filmen auf Polysilizium-Gates.
2. Es ist auch weit verbreitet in der elektronischen Geräte oberflächen reinigung, Solarzellen produktion, Laser technologie, Gasphase isolierung, Niedertemperatur-Kühlung,
Leckage detektion mittel, kontrolle der Lage der Weltraum rakete und des Dekontamination mittels in der Produktion von gedruckten Schaltungen.
3. Aufgrund seiner extrem starken chemischen Stabilität kann CF4 auch in der Metalls chmelz-und Kunststoff industrie eingesetzt werden.
4. Kohlenstoff tetra fluorid hat eine gute Sauerstoff löslichkeit, so dass es von Wissenschaftlern verwendet wird, um gewöhnliche Druckluft in ultra tiefen Tauch experimenten zu ersetzen. Es wurde erfolgreich bei Mäusen eingesetzt, und Mäuse können immer noch sicher in einer Tiefe von 275 bis 366 Metern entkommen.
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