99,999% 5N Kohlenstoff tetra fluorid CF4, die elektronische Halbleiter-Spezial gasindustrie hat hohe technische Barrieren. Der Produktions prozess elektronischer Halbleiter-Spezial gase umfasst viele Prozess technologien wie Synthese, Reinigung, Mischgas vorbereitung, Abfüllung, Analyse und Prüfung sowie Handhabung von Gasflaschen. Jeder Schritt hat strenge technische Parameter anforderungen und Qualitäts kontroll maßnahmen. Um die Qualität und Ausbeute von Halbleiter bauelementen sicher zustellen, müssen spezielle Gas produkte gleichzeitig die Anforderungen von "ultra-rein" und "ultra-sauber" erfüllen. "Ultra-pure" erfordert, dass die Gas reinheit 4,5 N, 5N oder sogar 6N, 7N erreicht (N ist die Abkürzung für Nine, und es gibt mehrere Ns und mehrere 9s. "Ultra-Clean" erfordert eine strenge Kontrolle des Gehalts an Partikeln und Metall verunreinigungen. Als Parameter für spezielle Gase, jede Erhöhung der Reinheit um ein N und jede Abnahme der Konzentration von Partikeln und Metall verunreinigungen um eine Größen ordnung führt zu einer Erhöhung der Prozess komplexität und-schwierigkeit.