99 . 999% 5N Carbon Tetrafluorid CF4, die Semiconductor Electronic Special Gas Industry hat hohe technische Barrieren. technical parameter requirements and quality control measures. In order to ensure the quality and yield of semiconductor devices, special gas products must meet the requirements of "ultra-pure" and "ultra-clean" at the same time. "Ultra-pure" requires the gas purity to reach 4.5N, 5N or even 6N, 7N (N is the abbreviation of Nine, and there sind mehrere NS und mehrere 9s . "Ultra-Clean" erfordert eine strenge Kontrolle des Gehalts von Partikeln und Metallverunreinigungen.
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