Kohlenstofftetrafluorid ist ein farbloses, geruchloses und nicht{0}}entflammbares Edelgas. Aufgrund seiner hohen chemischen und thermischen Stabilität findet es wichtige Anwendungen in der Industrie, insbesondere in High-{2}}-Bereichen.
Das größte Problem von Tetrafluorid ist sein extrem starker Treibhauseffekt. Sein Treibhauspotenzial (GWP) beträgt das 7350-fache des Kohlendioxids (berechnet über 100 Jahre) und es kann bis zu 50.000 Jahre in der Atmosphäre stabil bleiben. Daher sind seine Herstellung und Verwendung streng reguliert und erfordern ein umfangreiches Recycling und eine umfassende Behandlung. Eine direkte Freisetzung in die Atmosphäre ist strengstens untersagt.
Plasmaätzen und -reinigen sind die wichtigsten und am weitesten verbreiteten Anwendungen von Kohlenstofftetrafluorid, insbesondere in den Herstellungsprozessen von Halbleitern und mikroelektromechanischen Systemen (MEMS). Als Kältemittel wurde ursprünglich Tetrafluorkohlenstoff mit der Bezeichnung R-14 verwendet. In inerten Umgebungen fungiert Tetrafluorkohlenstoff als Schutzgas und Gasisolator. Aufgrund seiner chemischen Inertheit, Nicht-Toxizität und einfachen Nachweisbarkeit wird Kohlenstofftetrafluorid als Prüfgas in der Umweltüberwachung und wissenschaftlichen Forschung verwendet. Kohlenstofftetrafluorid wird auch als Lasergas und bei der Herstellung von flexiblen Verpackungsmaterialien für niedrige Temperaturen verwendet.
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