Carbon Tetrafluorid CAS 75-73-0
Produktname: Kohlenstoff Tetrafluorid Kohlenstoff Tetrafluorid Gas Tetrafluormethan Perfluorkohlenwasserstoff
Produktqualität: Analytische Note
Produktreinheit: 99,999%
Verpackungsspezifikation: 40L
Chinesischer Name: Kohlenstoff Tetrafluorid
Chinesischer Alias: Tetrafluormethan
CAS: 75-73-0
Eincs: 200-896-5
Molekulare Formel: CF4
Molekulargewicht: 88
Physikalische und chemische Eigenschaften: - Schmelzpunkt: -184 Grad
Carbon Tetrafluorid ist das am häufigsten verwendete Plasmaküren-Gas in der Mikroelektronikindustrie . Es ist eine Mischung aus hochpurigem Gas und hohem Kohlenstoff-Tetrafluoridgas mit hoher Purity-Sauerstoff .}
1. Es kann häufig in der Kerzengravur von Silizium, Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, Phosphor -Siliziumglas und Wolfram -Filmmaterialien verwendet werden. Selektivität von 45: 1 kann erhalten werden, was bei der Ätzen von Siliziumdioxidfilmen zu Polysilicon -Toren sehr nützlich ist .
Oder
Leckage Erkennungsagent, Kontrolle der Raum -Raketen -Einstellung und Dekontaminierungsagent in der gedruckten Schaltungsproduktion .
3. Aufgrund seiner extrem starken chemischen Stabilität kann CF4 auch in Metallschmelzen und Kunststoffindustrien verwendet werden .
{Oder
Beliebte label: Carbon Tetrafluorid Cas 75-73-0, China Carbon Tetrafluorid Cas 75-73-0 Hersteller, Lieferanten, Fabrik, 99 999 5n Carbon Tetrafluorid CF4Kohlenstoff Tetrafluorid CF4Carbon Tetrafluorid CF4 99 999 aus elektronischer KlasseTetrafluorid mit hoher ReinheitFlüssigkeitsschwefel -Hexafluoridverteiler
